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1 испарительно-ионный вакуумный насос
испарительно-ионный вакуумный насос
Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения.
[ ГОСТ 5197-85]Тематики
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Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > испарительно-ионный вакуумный насос
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